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高精度數(shù)顯光柵扭簧表比較儀

  • 更新日期:  2021-11-23
  • 產(chǎn)品型號:  5mm/0.0002mm
  • 簡單描述
  • 高精度數(shù)顯光柵扭簧表比較儀,分辨力為0.2μm,示值精度為1.5μm,重復(fù)性能達(dá)到0.6μm,和電感比較儀的精度差不多,適合用了對精度要求高的場合。可以用了比對測量薄膜,晶片等。
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè)示值精度1.5μm

高精度數(shù)顯光柵扭簧表比較儀

高精度數(shù)顯光柵扭簧表比較儀

相關(guān)技術(shù)文獻(xiàn):

將被測長度先轉(zhuǎn)換為光量,再轉(zhuǎn)換為電量輸出的傳感器。常見的有光柵式、激光式、固體陣列式和光導(dǎo)纖維式等。激光式又可分為光波干涉式、掃瞄式和光強(qiáng)式等(見激光測長技術(shù))。固體陣列傳感器是70年代初期出現(xiàn)的一種圖象傳感器。固體陣列是一種線型或面型的光電轉(zhuǎn)換元件。其中用得較多的是電荷耦合器件。它是一種在硅芯片的一面沉積柵電極結(jié)構(gòu)的器件。柵電極和硅芯片間有一層約為0.1~0.12微米厚的 SiO 2透明絕緣層,形成電容陣列。由于柵電極可以透光,硅芯片是一種光敏材料,當(dāng)光照射在其上時,在內(nèi)部產(chǎn)生電荷載流子,并被收集和存儲在硅芯片的勢阱中。勢阱是當(dāng)在柵電極上加正電壓時,在電場的作用下,與電極相鄰的硅芯片表面的正電荷被推離后形成的一個耗盡層。存儲在勢阱中的電荷載流子,在適當(dāng)?shù)臅r候會穿透芯片,經(jīng)電荷放大器后輸出。勢阱是芯片中的分立單元,其分辨率可達(dá)0.01毫米或更高。將被測尺寸、圖象等以光掃描或投影等方法投射在電荷耦合器件上時,光信號即轉(zhuǎn)換為電信號輸出,經(jīng)電路處理后即可得到被測尺寸等的量值。固體陣列傳感器適用于小型復(fù)雜形狀工件的多尺寸自動測量。一次投影或光掃描可以測量幾十個尺寸。光導(dǎo)纖維傳感器主要用于測量微小位移和精密定位。

分辨率

在測定對象物靜止時,以距離來換算線性輸出的擺動幅度,區(qū)別在數(shù)字輸出時數(shù)據(jù)偏差的幅度和分辨率,稱為重復(fù)精度。

響應(yīng)時間

物體的位移和寬度是在步進(jìn)變化時的線性輸出。為了使模擬輸出在10~90%內(nèi)變化,以「響應(yīng)時間」來表現(xiàn)所需的時間。





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